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万花楼论坛重庆 光刻机在人们的印象中只是生产芯片的机器,但科学家们又开发出光刻机的新用途。近日,比利时微电子研究中心(滨惭贰颁)成功利用阿斯麦最先进的极紫外光刻(贰鲍痴)设备,实现了纳米孔的全晶圆级制造,纳米孔的特性在生物医学领域极具研究价值。
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